電子特氣系統工程：燃爆毒腐類(lèi)的氣體統稱(chēng)為電氣特氣，特氣管道系統 Special Gas Pipeline System 是指SiH4，NF3，Cl2 等一些具有高危險性，微電子、半導體、光伏、LED、TFT_LCD、光纖、科研院等行業(yè)的客戶(hù)在工藝制程中會(huì )使用到易燃易爆/有毒有害/腐蝕性等各類(lèi)特種氣體應確保安全性的特氣。

特氣供氣系統就是把各種特種氣體在滿(mǎn)足工藝制程要求的純度、壓力和流量的前提下安全穩定的供應到工藝設備內。